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中国科学技术大学的超净实验室,主要用于超导量子计算的芯片制造。在制造过程中,需要在晶体上构造一层金属薄膜,然后进行光刻工艺,将版图写到光刻胶上。光刻胶的选择和曝光机的使用非常关键,黄光的波长不会对工艺造成影响。整个制造过程需要严格的环境控制,以保证芯片的洁净度和稳定性。
中国科学技术大学微纳研究与制造中心上海分部的超导量子计算芯片实验室的制造工艺。
0:01 超净实验室介绍:吴姥姥带我们参观了一个超净实验室,介绍了它们对环境的要求。
1:23 金属薄膜沉积:讲解了金属薄膜沉积的过程,包括真空环境、温度控制、时间控制等。
3:29 金属材料刻蚀:讲解了金属材料的刻蚀过程,包括使用黄光的原因、涂抹光刻胶、化学键打断等。
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- 对方正在想象:我要研究芯片